Encontré esta pregunta mientras investigaba un problema similar. Resulta que obtienes este error cuando utilizas una versión de OpenSSH que no admite la configuración de ControlPath / Master, pero incluye las líneas que mencionas en tu configuración.
En mi caso, estaba ejecutando CentOS 6, cuya versión incluida de openssh es 5.3 (que era antes de que pusieran el control). Parte de la diversión del ciclo de paquetes de Redhat / CentOS es que te encuentras con cosas como esta, ya que tienden a preferir parches de versiones anteriores de las principales versiones de software en lugar de traer paquetes actualizados.
De todos modos, para resolverlo, debe eliminar las entradas ControlPath / ControlMaster de su configuración ssh (incluyendo ~ / .ssh / config). Alternativamente, puede descargar el último paquete OpenSSH de su sitio web e instalarlo (pero si va a hacer ese tipo de cosas regularmente, debería considerar usar una distribución que no sea Redhat / CentOS).