Esta será una respuesta "Meta" que se refiere a las otras respuestas para corregir algunos conceptos erróneos.
Durante la fabricación de VLSI, se utilizan diferentes resoluciones de litografía en los distintos niveles y SOLO los detalles más modernos y más finos se utilizan en el nivel de definición GATE. Incluso los pasos anteriores a la definición de Poly Silicon se realizan con herramientas de litografía más antiguas (como la definición de área activa STI - LOCOS, etc.).
La razón es muy simple, ¿por qué usar las herramientas más avanzadas (y, por lo tanto, las más caras) que usan las máscaras más caras para definir capas que inherentemente necesitan menos resolución?
De hecho, el metal superior tiende a ser muy grueso para soportar más corriente para evitar la electro migración y reducir la resistencia de los rieles de potencia.
Por ejemplo, en un proceso de 180 nm, la puerta se define utilizando una litografía basada en láser KrF @ 248 nm con una máscara de cambio de fase 5X. Esto también se usa para contactos. Metal 1 puede hacerse en un paso a paso que con i-line @ 365nm y también una máscara 5X, pero sin corrección de fase aplicada.
El punto es que las capas superiores del chip tienen una resolución mucho más baja y un tono mucho más alto de lo que el proceso se "define", e incluso esa definición se vuelve rara muchas veces.
El metal superior podría tener un tamaño de características mínimo tan grande como 3um en ese proceso de 180 nm anterior, verifiqué.
La pasivación del troquel superior es típicamente Si3N4 o poliimida. Que se ha eliminado en esas fotos.
Entonces, lo más probable es que esas imágenes sean en realidad imágenes de luz visible tomadas en un microscopio. Los colores pueden deberse a que la altura de las estructuras está en el orden de la longitud de onda de la luz y tiene efectos difractivos. Pero como no tenemos escala, no es seguro ser definitivo.
Pero podría ser un Micrografo Electrónico que ha sido coloreado para "belleza". Parece provenir de una portada de un libro, y quién sabe qué hace el departamento de arte allí.
Así que no estoy dispuesto a decir uno de los otros que sea óptico o SEM. @ W5VO observa que la profundidad de campo parece demasiado grande para la óptica, y estoy de acuerdo. PERO no conocemos la escala aquí, esa estructura podría ser fácilmente de 10 micras dada la era.
Nunca escuché hablar de un microgramo de electrones; bajo las convenciones de nomenclatura estándar que se traducirían en un "pequeño mensaje de electrones", tampoco puedo encontrar enlaces a nada que mencione eso. Así que me encantaría saber de qué se trata.